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【图文导读】图1 用于高密度弹性电路的单片光学微光刻图2双网络介导的导电聚合物的直接光学光刻技术图3 卡本介导的半导体和绝缘聚合物的直接光学光刻技术 图4 单片光学微光刻制造的高密度、房山高度均匀的弹性晶体管阵列 图5 弹性功能电路文献链接:房山Monolithicopticalmicrolithographyofhigh-densityelasticcircuits(Science,2021,DOI:10.1126/science.abh3551)本文由木文韬翻译,材料牛整理编辑。此外,将建级氢还引入了紫外敏感的聚乙二醇二甲基丙烯酸酯(PEGDMA)来实现化学未改性的导电聚合物的双网络介导的直接光刻。
但是,千瓦传统的光刻技术不能适应聚合电子材料(如半导体和导体)的微/纳米加工,因为光刻技术中使用的光刻胶与活性聚合电子材料缺乏化学正交性。相对于传统的刚性电子器件(如硅基器件),兴产弹性电子器件由于器件密度低,目前在并行信号记录和处理方面受到限制。【成果简介】今日,业基在美国斯坦福大学鲍哲南教授团队等人带领下,业基提出了一种单片光学微光刻工艺,该工艺通过连续紫外光触发的溶解度调制,直接形成一组弹性电子材料的微图案。
该工艺为实现复杂、北京百万高密度、多层弹性电路的晶片级制造提供了一条途径,其性能可与刚性电路相媲美由于技术的复杂度,房山未来5年-10年内,房山专用领域的智能化是人工智能(AI)应用的主要方向,在更远的将来,随着技术的进一步突破,通用领域的智能化有望实现。
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